潔凈室的空間布置設計

潔凈室空間布置主要是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，合理布置生產(chǎn)工藝設備及相應的物料傳輸設備、物料管線等，做到有效、靈活，有利于產(chǎn)品生產(chǎn)或技術改造等。根據(jù)空氣潔凈度等級要求，按所選擇的氣流流型做好空間布置；合理安排、組織好各類管線，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)用新風、送風、回風和排風管道及各種水、電、氣管線的走向、布置和間距以及維修管道等；妥善安排高效過濾器、照明燈具以及各類公用動力設施用設備、附件的布置和必要操作、維修間距；充分考慮各類產(chǎn)品生產(chǎn)用工藝設備、凈化空調(diào)系統(tǒng)及設備和產(chǎn)品生產(chǎn)所必需高純物質(zhì)制取、輸送設施布量、管理以及穩(wěn)定的電力供應裝置等是潔凈間空間設計的主要依據(jù)。非單向流潔凈室的空間布置一般采用單層布置，在頂部或側(cè)墻設技術夾層、技術夾道，用以布置各類風管、動力公用管線和少量生產(chǎn)輔助設備或公用動力設備；少數(shù)因產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或占地等因素也可采用非單向流潔凈室迭層布置為多層無塵廠房。非單向流潔凈室的空間布置應安排好技術夾層、技術夾道各種管道、線路等的設置；技術夾層是以水平分隔構成的潔凈輔助空間，通常設在潔凈間的頂棚上部，主要是容納各類風管、靜壓箱、空氣過濾器和各種水、電、氣管線等。技術夾道或技術豎井是以垂直分隔構成的潔凈間輔助通道、豎井，主要是容納回風管、排風管和水、電、氣管線以及少量生產(chǎn)工藝用輔助設備、公用動力設備與附件等。有時技術夾道作為回風管道或回風靜壓箱，技術豎井是作為容納豎向尤其是越層豎向管線之用，當作為越層豎井時應注意防火消防措施的設計。為確保潔凈間的規(guī)定潔凈度等級，應對技術夾層、技術夾道采取必要的裝飾清潔措施。

潔凈室空間尺寸的確定:非單向流潔凈室的層高應以生產(chǎn)工藝設備的尺寸和操作需要以及物料傳輸設備的尺寸等因素確定，一般為3.0~3.5m;為降低費用，在不影響使用效果的情況下可降至2.8m;生產(chǎn)設備的尺寸較高時，可達4.0m甚至更高。潔凈間層高直接關系到送風量和造價、運行費用。技術夾層的空間尺寸，通常為2.0~2.5m；若因各種管線布置或需設有生產(chǎn)用輔助設備或公用動力設備、附件時，可適當加大，技術夾道一般為1.2~2.0m。單向流潔凈室的空間布置廣泛應用于微電子產(chǎn)品或某些電子器件產(chǎn)品的生產(chǎn)過程，目前超大規(guī)模集成電路產(chǎn)品生產(chǎn)要求生產(chǎn)環(huán)境控制粒徑0.1um、0.05pum，達到IS04~5級或更嚴格的級別。為適應此種要求，單向流潔凈室的空間布置已從“單層”發(fā)展到“二層或三層”，并主要采用垂直單向流潔凈室。單向流潔凈室的上部為送風靜壓箱，下部為回風地板和回風道，側(cè)面為回風靜壓箱、各類公用動力管道和少量輔助設備等，回風經(jīng)空氣處理后送至送風靜壓箱。這類潔凈室的空間布置靈活性較差，當產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或產(chǎn)品數(shù)量擴大時，進行生產(chǎn)工藝平面布置調(diào)整困難。潔凈間上部為技術夾層，布置送風管、排風管和各種公用動力管線，集中設置空氣凈化處理裝置。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、凈化廠房等的咨詢、規(guī)劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

本文由中凈環(huán)球凈化CCG(www.dxelec.com.cn)提供，轉(zhuǎn)載請注明出處。