生產潔凈廠房的特點及其要求

隨著科學技術的發展，許多產品及其研制開發過程中都需要潔凈的生產環境，在一些研究試驗中也需要潔凈或相關受控環境。其中微電子產品、醫藥產品等生產工藝的發展尤為迅速，大規模、超大規模集成電路和TFT-LCD液晶顯示器的生產是微電子工業發展最快的產業，研發周期短，產品生產工藝和生產規模都發展極快，集成電路12in晶圓生產工廠在國內已建成多家，芯片線寬10nm的產品已在國內批量生產，國內已建成多家8代、10代或10.5代TFTLCD液晶顯示器生產工廠。醫藥生物制品生產工藝日新月異，由于藥品生產質量與人民健康密切相關，若生產過程受到微粒和微生物污染，一旦進入人體將直接影響人體健康，因此藥品生產環境控制要求十分嚴格，日益受到人們的高度關注。

這些生產潔凈廠房的主要特點是:對空氣潔凈度的要求十分嚴格，微電子工廠中的芯片生產核心區要求空氣潔凈度等級達到ISO1~3級，控制粒徑小于0.01um，甚至更小的粒徑。生產品生產過程的連續性、自動化傳輸以及生產速率的提高，要求產品用場地具有大空間大體量，一個潔凈生產區的面積大且不可分割。如TFT-LCD液晶顯示器生產線的一個潔凈生產區面積可達數萬平方米，我國近年投產的10.5代TFT-LCD液晶顯示器生產用潔凈室的面積超過10X10⁴m²。芯片生產用潔凈廠房的潔凈生產區面積達33000m²，潔凈廠房高度為17.0~31.0m;薄膜晶體管液晶顯示器件(TFT-LCD)生產用潔凈廠房的潔凈區面積達94000m²，潔凈廠房高度為20~33.0m。這類潔凈廠房的潔凈生產區由于產品生產過程的連續性和自動化傳輸要求，一般是不可分割的，因此對廠房布置和消防疏散設計。并且這類潔凈廠房均采用單向流潔凈室，在潔凈生產區的上部、下部設置上技術夾層、下技術夾層，有的還采用2個潔凈生產區疊加布置，且各技術夾層還不能共用，因此潔凈生產區的上技術夾層為其送風層，下技術夾層為其回風層。中凈環球凈化可提供潔凈車間、無塵廠房等的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

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